原子吸收光譜儀故障產生的原因和出現的現象是錯綜復雜的。必須小心觀察故障現象，認真檢測和細致地分析比較，才能找出故障所在。由于儀器型號繁多，結構、線路和功能差別較大，要詳細討論一起產生故障的原因和排除方法，必須針對具體儀器來分析，需參考廠家的儀器線路圖、說明書和維修手冊。這里僅從操作者正確使用和分析角度就一些共同性的常見的故障問題作簡要討論。
原子吸收光譜儀顯示系統故障：
1、電源顯示器不亮故障原因：電源進線斷路或接觸不良，保險管損壞，電源輸入線某處斷路。查處方法：用萬用表查出故障并修復。
2、顯示儀表突然波動故障原因：電網電壓變動太大，電子線路中個別元器件突然損壞；某處導線或接觸點斷路或短路；高壓控制失靈。
原子吸收光譜儀光源系統故障：
1、空心陰極燈點不亮故障原因：燈電源出問題或未接通；燈頭與燈座接觸不良；燈頭接線斷路；燈漏氣。查處方法：分別檢查電源、連線和插接件；若不是電路問題；再進行換燈檢查。
2、燈陰極輝光顏色異常故障原因：燈內惰性氣體不純。查處方法：在工作電流或大電流（80mA，150mA）下反向通電處理。
3、燈陰極口外發光或陰極內發生跳動的火花狀放電，故障原因：燈內惰性氣體壓力降低不能維持正常放電，后者由陰極表面氧化物或雜質所致。查處方法：前種情況需換新燈；后種情況通過十幾毫安電流直到火花放電停止，若無效則需換新燈。
4、氚燈不亮故障原因：氚燈電源系統出現故障；氚燈起輝電壓因長期使用而增高；氚燈壽命完結。查處方法：針對原因分別加以處理。
5、氚燈能量不夠故障原因：光欄小；光裸未調好；波段不適；氚燈壽命終結。查處方法：加大光擋；重調光路；換新燈。
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